光触媒ナノ工具に関する研究（第三報）

微小除去加工特性の実験的解析

抄録

本研究では光触媒ナノ粒子を利用することでソフトマテリアルを10nm以下の分解能で除去加工することが可能な非摩耗・回折限界非依存型光励起ナノ除去加工工具を提案している。ナノ粒子をレーザトラップで制御し、励起光によって局所的に光触媒反応を発生させソフトマテリアルを加工する。本報では、実験装置の開発と光触媒反応の実験的検証を行った。検証より、10nm以下の加工精度の実現可能性を示すことができた。