エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究（第17報）

面内構造に応じた動的露光法の検討

抄録

近年，産業の発展や造形構造の微細化に伴い，Sub-μmの加工分解能を持つ3次元的な造形法が求められている．本研究では光造形法の微細化のため露光エネルギとしてエバネッセント光を導入することを提案している．本報は，エバネッセント単層露光における面内造形の高精度化を目指すため，構造によって露光するエネルギを適切に制御する露光法を提案する．そして造形結果を比較評価する．