エリプソメトリ顕微鏡を用いた強誘電体表面の分域構造観察

抄録

強誘電体を用いたデバイスの製造や駆動には分域構造の制御が必要となるため，分域構造を評価する手法が求められている．しかし，分域構造の観察に用いられる圧電応答顕微鏡では，厚さ方向には単分域となるような薄膜状の試料に交流電界を印加する必要がある．そこで，強誘電体の光学異方性に着目し，エリプソメトリを用いて試料表面での反射光を解析することで，試料表面の分域構造を前処理なく選択的に観察することを可能にする．