光源切替位相シフトシャドーモアレ法による高速高精度形状計測装置の開発

抄録

シャドーモアレ法は格子を試料の近くに置くために細かい格子を使用でき、三次元形状を高精度に計測できる。位相シフト法と組み合わせると高精度に定量的に解析できる。さらに、ＬＥＤ光源を切り替える光源切替位相シフト法を用いると可動部分がなく、高速に位相シフトを行うことができる。結果的に高速かつ高精度な三次元形状計測法となる。この装置の特徴と開発のノウハウについて述べる。