面領域ウェーブレット変換と2次元ディジタルフィルタの開発に関する研究

尾嶌 裕隆; 鈴木 泰樹; 周 立波; 清水 淳; 小貫 哲平

doi:10.11522/pscjspe.2013A.0.433.0

2013年度精密工学会秋季大会

セッションID: H69

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013A.0.433.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

面領域ウェーブレット変換と2次元ディジタルフィルタの開発に関する研究

*尾嶌裕隆, 鈴木泰樹, 周立波, 清水淳, 小貫哲平

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キーワード: ウェーブレット変換, ディジタルフィルタ, 面領域ウェーブレット

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抄録

現在の画像処理技術では2次元の対象に対して1次元のフィルタを水平・垂直方向へ順次処理することで2次元の処理を行っている．しかし2次元対象に対するフィルタは2次元であることが望ましく，計算コスト削減にもつながるため，本研究では2次元のフィルタ設計と処理手法について研究を行った．また今回提案する面領域ウェーブレット変換を用いて特定周波数帯を取り出すことでウエハ表面の形状と粗さを求めることが出来た．

責任著者(Corresponding author)

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