放電加工用高速・高精度3 自由度制御型アクチュエータの研究

石塚 知宏; 内山 公貴; 張 暁友

doi:10.11522/pscjspe.2013A.0.443.0

2013年度精密工学会秋季大会

セッションID: I06

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013A.0.443.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

放電加工用高速・高精度3 自由度制御型アクチュエータの研究

*石塚知宏, 内山公貴, 張暁友

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キーワード: 放電加工, アクチュエータ, 位置決め

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抄録

放電加工では，加工物と電極の距離を高速・高精度に調整する必要があり，異常放電の発生原因となる加工屑の滞留を防ぐための加工屑の排出性を改善する必要もある．そこで，本研究では，電極の加工方向に高速・高精度に位置決め可能，また加工方向と垂直な平面内で千ヘルツ程度の周波数，数マイクルメートルの振幅で振動可能な３自由度制御型アクチュエータを提案し，そのコントローラを設計して性能評価を行う．

責任著者(Corresponding author)

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