平板電極を用いた2自由度静電誘導型差動変位センサの開発

井上 俊太郎; 木村 文陽; 樋口 俊郎

doi:10.11522/pscjspe.2013A.0.441.0

2013年度精密工学会秋季大会

セッションID: I04

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013A.0.441.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

平板電極を用いた2自由度静電誘導型差動変位センサの開発

*井上俊太郎, 木村文陽, 樋口俊郎

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キーワード: 静電容量式センサ, 変位センサ, アナログセンサ, 差動トランス, LVDT, 2自由度変位センサ

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抄録

本研究の目的は差動トランスのコイルの機能をキャパシタで置き換えることにより変位センサの薄型化や2自由度化の可能性を探ることである．本稿では円筒電極を用いた静電誘導型差動変位センサの技術を応用して開発した，平板電極を用いた2自由度静電誘導型差動変位センサについて述べる．試作機を用いた実験では，2自由度方向の変位を互いに干渉せず非直線性誤差が±0.7 %程度に収まる精度で変位検出が可能であることが示された．

責任著者(Corresponding author)

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