超極細ワイヤを用いたマイクロ多針フィルタの研究（第３報）

抄録

線径100μｍ以下の超極細ワイヤを用いたマイクロ多針フィルタを考案・開発した．このマイクロ多針フィルタは多数本のステンレス線と錫メッキ銅線とを束ねて接合し，その後，錫メッキ銅線を硝酸で溶解除去することで，孔径が等しく深さが均一で円筒垂直孔構造のフィルタを製作したもので，本研究では，このマイクロ多針フィルタの構造／製作方法，および，ろ過性能について実験的／解析的に解明／評価したことについて報告する．