集積化シリコンMEMS技術による新機能デバイスの創出（キーノートスピーチ）

抄録

集積化シリコンMEMS技術は，半導体集積回路技術やシリコンマイクロマシニングを組み合わせ，異種機能を一つのデバイス上に実現する集積化技術である。その優れた機能集積性により，センシングや情報処理など複数の機能を統合して新しい機能を発現させる各種マイクロデバイスの創出が可能である。本講演では，この集積化シリコンMEMS技術を用いて実現されたマイクロセンサとマイクロアクチュエータについて紹介する。