ダイアフラムを用いた可変絞り水潤滑静圧スラスト軸受に関する研究

抄録

近年，静圧軸受を使用した超精密加工機においては，消費動力や環境負荷の低減を目的として，油に代わり水を潤滑流体として使用することが検討されている．そこで本研究では，水を潤滑流体として使用し，かつ高い軸受剛性を実現できる軸受として，ダイアフラム自由端支持型可変絞りを使用した水静圧スラスト軸受を提案する．本報においては，提案する軸受の静特性に関して，実験的，数値的な検討を行った．