濃淡変化方向を考慮した多値画像差方式プリント配線パターン外観検査

抄録

プリント配線板パターンの変形およびパターン表面の暗化を欠陥とする検査手法を考察した。従来手法では，基準パターンと検査対象パターンの差が判定基準値を超えたとき欠陥ありと判定する。本研究では，虚報を低減するために検査手法が提案されている。提案手法では，パターン境界の濃淡変化方向を考慮して濃淡画像差を計算する。本手法を実験した結果，従来手法と比べて虚報の抑制の点で優れていることが確認された。