精密工学会学術講演会講演論文集
2013年度精密工学会秋季大会
セッションID: J03
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主催: 公益社団法人精密工学会

ナノインプリント法における離型プロセス
低欠陥離型方法の検討
*平井 義彦, 北川 拓哉, 塩津 隆弘, 川田 博昭
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キーワード: ナノインプリント, 離型
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抄録
ナノインプリント法の金型離型プロセスの解析と，低欠陥を実現する新しい方法を紹介する
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© 2013 公益社団法人 精密工学会
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