精密工学会学術講演会講演論文集
2013年度精密工学会秋季大会
セッションID: J04
会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

インプリント法を用いた自立メンブレムフィルターの作製
*川田 博昭, 平井 義彦, 真室 稔
著者情報
キーワード: ナノインプリント, メンブレムフィルター, 自立
会議録・要旨集 フリー

詳細
PDFをダウンロード (501K)
メタデータをダウンロード RIS形式

(EndNote、Reference Manager、ProCite、RefWorksとの互換性あり)

BIB TEX形式

(BibDesk、LaTeXとの互換性あり)

テキスト
メタデータのダウンロード方法
発行機関連絡先
抄録
インプリント法を用いて貫通した均一サイズの微細パターン孔を持つ厚さ2um程度のフィルターの作製プロセスについて述べる．
著者関連情報
© 2013 公益社団法人 精密工学会
前の記事 次の記事
お気に入り & アラート

閲覧履歴
このページを共有する
feedback
 Top