FCVA法によるセグメント構造DLC膜の作製

抄録

DLC膜の中で水素を含まずsp3結合比率が高いta-C膜は，高い硬さを有する優れた耐摩耗コーティング材料であるが，その高内部応力のために膜の剥離が生じやすい．本研究では，FCVA法により作製されるta-C膜に，基材追従性の付与及び耐摩耗性の向上に関する効果が示されているセグメント構造を適用し，この問題の解消を試みた．また，セグメント構造の適用により，耐摩耗性がどのように変化するかについて検討した．