45パーマロイ材の表面に及ぼす電解酸化水のエッチング作用

佐藤 運海; 川久保 英樹

doi:10.11522/pscjspe.2013A.0.577.0

2013年度精密工学会秋季大会

セッションID: K20

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013A.0.577.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

45パーマロイ材の表面に及ぼす電解酸化水のエッチング作用

*佐藤運海, 川久保英樹

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キーワード: 45パーマロイ材, 電解酸化水, エッチング性能, 選択エッチング, 化学組成

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抄録

本研究は45パーマロイ材の表面に及ぼす電解酸化水のエッチング作用に関するものである．まず，浸漬実験よって，45パーマロイ材の表面に対するNaCl電解酸化水およびNa2SO4電解酸化水のエッチング性能を明らかにした．その結果，電解酸化水は薬液と比べエッチング作用が強い．つぎに，浸漬後の溶液中における金属イオン濃度から，電解酸化水は，45パーマロイ材の構成元素に対してより均一にエッチングできることが明らかになった．

責任著者(Corresponding author)

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