非接触精密光コム距離測定技術の開発（第5報）

2台の光コムによるサイクリックエラーの低減

抄録

光路長変化による光コムのセルフビートの位相変化に基づいた高分解能で非接触な粗面に対する計測手法の開発を行なっている。前報では、本研究の手法で粗面までの距離を絶対的に10 μm程度の小さい不確かさで計測可能であることが確かめられた。これは、従来見られたサイクリックエラーが発生しないことによる精度向上である。本報では、サイクリックエラーが発生しない理由について解析を行った結果を報告する。