スパッタリング法を用いた高機能マイクロ無痛針の創製

抄録

マイクロ無痛針はTi製で長さ4mmの場合，高剛性，低管摩擦を満足する内径44μm，外径95μmに内接する正5角形状の針が最適形状であると報告されている．著者らは粒子の堆積速度変化を利用した多角形状断面創製システムを構築していることから，シミュレーション断面と実験値との整合性の確認が次への課題となる．そこで同システムを用いた断面角部分の創製に伴う冶具の回転速度制御を構築し，実験により針断面の粒子の局所堆積を確認した．