RFマグネトロンスパッタリング法による微小領域pHセンサの開発

抄録

pHセンサは溶液等のpH測定時に使用され，電位の再現性が良い等の特徴を持つガラス電極法が広く利用されている．しかし既存のpHセンサは大型であり，細胞等の微小なpHを測定するにはより小型化したpHセンサが必要であるが，構造が複雑なガラス電極法が主流であることから小型化は困難である．そこで本研究では，RFマグネトロンスパッタリング法を利用し，簡易構造を有するヨウ素酸銀電極法を用いた微小領域pHセンサの創製を目指す．