形状可変ミラーを用いた光学パラメータ可変な硬X線集光光学系の開発 ペンシルビーム法による形状可変ミラーのin-situ形状修正

後藤 拓実; 中森 紘基; 松山 智至; 佐野 泰久; 香村 芳樹; 石川 哲也; 山内 和人

doi:10.11522/pscjspe.2013A.0.651.0

2013年度精密工学会秋季大会

セッションID: L32

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013A.0.651.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

形状可変ミラーを用いた光学パラメータ可変な硬X線集光光学系の開発

ペンシルビーム法による形状可変ミラーのin-situ形状修正

*後藤拓実, 中森紘基, 松山智至, 佐野泰久, 香村芳樹, 石川哲也, 山内和人

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キーワード: X線ミラー, 硬X線集光光学系, 形状可変ミラー

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抄録

本研究の目的は，形状可変ミラーを用いた光学パラメータ可変な硬X線集光光学系を構築することである．我々はペンシルビーム法により形状可変ミラーの計測を行い，その結果をもとにin-situでのミラーの形状修正を行っている．本発表では，ペンシルビーム法を行う際X線位置の検出に使用するビームモニターの測定精度の評価，およびペンシルビーム法によるミラーの形状修正を行い，2次元集光実験を行った結果について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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