精密工学会学術講演会講演論文集
2013年度精密工学会秋季大会
セッションID: L33
会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

大気圧プラズマによるチャネルカット単結晶シリコンの内壁エッチングの検討
*大坂 泰斗, 平野 嵩, 矢橋 牧名, 佐野 泰久, 登野 健介, 犬伏 雄一, 佐藤 尭洋, 小川 奏, 松山 智至, 石川 哲也, 山内 和人
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キーワード: X線自由電子レーザー, プラズマエッチング, チャネルカット結晶, 内壁加工
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抄録
硬X線用モノクロメータとして，その簡便さの為，チャネルカット結晶が多く使用されている．しかし内壁部表面近傍には，結晶学的なダメージが多く存在し，表面荒さも一般的な研磨表面には遠く及ばない．Ｘ線自由電子レーザー等，可干渉性の高い光源への適用の際，そのようなダメージは光源性能を劣化させる要因となり得る．我々は大気圧プラズマを用い，内壁表面のエッチングを試みた．本発表では基礎検討の結果を報告する．
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© 2013 公益社団法人 精密工学会
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