WGM共振を利用した微小球の直径計測（第一報） 結合条件が共振ピークに与える影響

足立 篤; 道畑 正岐; 林 照剛; 高谷 裕浩

doi:10.11522/pscjspe.2013A.0.67.0

2013年度精密工学会秋季大会

セッションID: B14

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013A.0.67.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

WGM共振を利用した微小球の直径計測（第一報）

結合条件が共振ピークに与える影響

*足立篤, 道畑正岐, 林照剛, 高谷裕浩

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キーワード: WGM共振, 直径計測

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抄録

本研究では，微小球の直径を決定する計測手法の確立を目的とし，光伝搬のモードの1つであるWGM共振の共振波長を利用する．光ファイバを部分的に数マイクロメートル程度に細くしたテーパファイバによって微小球内にWGM共振を励起し，共振波長はテーパファイバ透過光強度で観測される．本報では，透過光強度の共振ピークの共振波長やピーク深さがテーパファイバと微小球の結合条件によってどう影響されるかの調査を行った．

責任著者(Corresponding author)

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