大気開放型プラズマCVMを用いた形状創成における高精度化・高効率化に関する研究（第1報） プラズマジェット加工方式における基礎的加工特性の評価

畑 祐輝; 竹田 善紀; 伊藤 丈予; 遠藤 勝義; 山村 和也

doi:10.11522/pscjspe.2013A.0.681.0

2013年度精密工学会秋季大会

セッションID: L68

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013A.0.681.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

大気開放型プラズマCVMを用いた形状創成における高精度化・高効率化に関する研究（第1報）

プラズマジェット加工方式における基礎的加工特性の評価

*畑祐輝, 竹田善紀, 伊藤丈予, 遠藤勝義, 山村和也

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キーワード: プラズマCVM, プラズマジェット

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抄録

大気開放型数値制御プラズマCVM法は，大気圧プラズマにより生成したラジカルと加工物表面の化学反応を利用した超精密形状創成法である．我々は，プラズマCVMにおけるArガスをキャリアガス，CF4,O2を反応ガスとして用いるプラズマジェット型加工ヘッドの開発に取り組んでいる．本報では，開発したプラズマジェット型加工ヘッドを用いて石英ガラス基板の加工を行い，基礎的な加工特性を評価した．

責任著者(Corresponding author)

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