大気開放型プラズマCVMを用いた形状創成における高精度・高効率化に関する研究（第2報）

パルス幅変調制御による加工量制御の基礎的検討

抄録

PCVMは大気圧下で電極直下に発生させた局所的なグロープラズマを用い、数値制御により任意形状を創成する超精密加工法である。現在まで試料上でのプラズマ滞在時間を試料台の走査速度を用いて制御することで任意形状を創成してきたが、急激な速度変化にモータが追従出来ないことが加工誤差の要因であった。そこで本報では従来の制御方法に変わり平均電力による制御方法を適用する事で加工量分布の高速制御を検討した結果を報告する。