機械構造と送り駆動系の連成振動が高速輪郭運動時の軌跡誤差に及ぼす影響

抄録

本研究では，機械構造と送り駆動系の相互作用により生じる連成振動を解析することを目的として，各軸の送り駆動系とベースおよびコラムの振動を考慮した数学モデルを構築した．そして，高速輪郭運動時の送り駆動系の位置フィードバックの測定結果とシミュレーション結果との比較により，モデルの妥当性を検証した．さらに，シミュレーションによって，機械全体の振動が軌跡誤差に及ぼす影響を調査したので報告する．