半導体露光装置におけるサブナノメータオーダーの振動解析精度検証

抄録

半導体露光装置の主要な露光性能である重ね合わせ精度を向上させるためには、振動による主要な構造体の変形を抑制する必要がある。従来から振動解析を効果的に活用することで、振動対策を盛り込んだ構造体の開発を行ってきた。本報告では露光装置本体を加振することで得た評価結果と解析結果がサブナノメータオーダーで一致することを示す。