伸張性を持つ紫外線硬化型樹脂を用いた微細構造転写

抄録

伸張性を持つ紫外線硬化型樹脂を用いてナノパターン転写を行った。はじめに、UVナノインプリントにより、伸張性を持つUV硬化樹脂にパターンを転写し、これをレプリカモールドとした。その後、このレプリカモールドを引っ張り、パターンを変形させ、他の基板上のUV硬化樹脂に転写した。これによって、パターンの高密度化ができた。