離型剤の要らないレプリカモールドの開発と転写特性

抄録

紫外線を照射してナノスケールのパターンを製造するナノインプリントリソグラフィにおいて、パターンの欠損や金型表面にUV硬化樹脂が付着することが問題となっている。本研究では、防汚効果のあるカチオン重合、エポキシ性フッ素樹脂で構成されているUV硬化樹脂で作製した離型剤フリーのレプリカモールドを用いて転写耐久特性を評価した。