精密工学会学術講演会講演論文集
2013年度精密工学会秋季大会
セッションID: Q01
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大型高品質単結晶ダイヤモンドの高圧合成と欠陥制御(キーノートスピーチ)
*角谷 均
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抄録
超高圧高温下での温度差法によるダイヤモンド合成において、溶媒や添加物の最適化、転位欠陥の形成抑制などの技術開発により、直径12mm(約10カラット)の大型で高品質な単結晶ダイヤモンドが得られている。この高品質単結晶ダイヤモンドは、極めて高純度で、かつ内部歪や結晶欠陥が非常に少ない。ダイヤモンドデバイス基板として期待されているが、この用途への実用化には更なる欠陥制御や新研磨技術の開発が必要である。
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© 2013 公益社団法人 精密工学会
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