先端的難加工材料の高効率精密加工法の研究（第３報）

fsレーザ 照射による疑似ラジカル場形成ダイヤモンド基板とその基本的加工特性

抄録

超難加工材料の新しい加工手法に関する研磨を展開している。本手法は、基板の前加工処理法として基板表層にフェムト秒レーザを照射することにより疑似ラジカル場を形成し、仕上げ加工しやすい状況を醸成する。続いて仕上げ加工に、CMP加工を行いトータル的に高能率・高品位化を実現することを特徴としている。本報では、単結晶ダイヤモンドを被加工物として検討を行った。本手法の効果を確認した結果について報告する。