先端的難加工基板の高効率精密加工法の研究（第5報）

fsレーザ照射による疑似ラジカル場形成の検討

抄録

本研究では、超難加工材料基板の前加工処理法として基板表層にフェムト秒レーザを照射することにより疑似ラジカル場を形成し、仕上げ加工しやすい状況を醸成する。続いて仕上げ加工に、CMP加工を行いトータル的に高能率・高品位化を実現することを特徴としている。本報では、単結晶ダイヤモンドを被加工物として表面にフェムト秒レーザ照射を行うことで表面に疑似ラジカル場を付与できるかどうかの検討を行った。