シリコン/ゲルマニウム常温接合界面の特性評価

抄録

アルゴン高速原子ビームを用いた常温での表面活性化接合によりn型シリコンウェハとp型ゲルマニウムウェハを接合し、その接合界面の機械的・電気的特性について評価を行った。接合の機械的特性を調べるため引張試験とダイシェアを行った結果、試料がバルク部で破壊される程強く接合されていることを確認した。また、界面を介した電気的特性の測定を行い、界面を通したキャリアの移動について考察した。