電荷拡散によるMEMSミラーの角度ドリフトのモデル化

抄録

MEMSミラーは、小型化・低消費電力化が可能という利点を持つことから光スイッチやVOAなどへの適用が始まっている。MEMSミラーにおいては、配線間の絶縁や耐圧確保のために誘電体層を設ける必要が生じるが、時間とともに誘電体層に蓄積した電荷がミラーの角度特性の変動を引き起こすことが知られている。本報告では、誘電体層への電荷拡散による角度ドリフト挙動のモデル化を行い、その抑制設計手法について述べる。