大開口・回転体ミラーによる軟X線集光システムの光学設計

抄録

X線を用いた分析技術は医療、化学をはじめとして、様々な分野で用いられている。その背景には、加工技術の進歩に伴う集光素子の高精度化がある。回転体斜入射ミラーは有望な集光素子のひとつであるが、発散角の小さい放射光では、その性能十分に発揮できない。本稿では、この問題を解決するために、回転体ミラーと非球面ミラーを用いた二段集光光学系を新たに提案し、その設計手法とシミュレーション結果について報告する。