回転楕円X線集光ミラーのための位相回復による波面計測法の開発

抄録

回転楕円Ｘ線集光ミラーは将来有望な光学素子であるが、内径が小さく非球面三次元形状を持つためその加工と計測は非常に難しい。回転楕円体ミラー計測においては複雑な非球面形状に適用可能な、高精度かつラボベースの計測手法が必要とされる。我々は光源をHe-Neレーザーとした位相回復法による形状計測を提案する。本発表では位相回復シミュレーション結果と、集光レンズの波面計測結果について報告する。