回転体Ｘ線ミラー作製のための高精度電鋳プロセスの開発

抄録

Ｘ線用回転楕円体型ミラーは内面の直接的加工が困難なため，製作方法が確立されていない．本研究の目的はミラーの反転形状を有するマンドレルの高精度な転写によるミラー製作である．ここでは転写性に優れる電鋳法を常温，低電流密度条件下で適用して高精度な転写を行う．ナノメートルの平滑性を有するマスター表面を用い，表面粗さの転写性能を評価し，実験条件を検討するとともに，円筒状マンドレルの形状転写の現状を報告する．