法線ベクトル検出型超精密形状測定法による凸球面ミラーの形状測定

沖田 賢哉; 北山 貴雄; 松村 拓己; 薄木 宏治; 小嶋 拓也; 奥田 晃平; 打越 純一; 中野 元博; 東 保男; 遠藤 勝義

doi:10.11522/pscjspe.2013S.0.425.0

2013年度精密工学会春季大会

セッションID: F64

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013S.0.425.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

法線ベクトル検出型超精密形状測定法による凸球面ミラーの形状測定

*沖田賢哉, 北山貴雄, 松村拓己, 薄木宏治, 小嶋拓也, 奥田晃平, 打越純一, 中野元博, 東保男, 遠藤勝義

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キーワード: 測定学, 形状測定, 組立誤差, 誤差解析, 非球面ミラー, X線光学素子

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抄録

次次世代高精度光学素子は,形状誤差1～10nmPVの精度で自由曲面の形状を測定することが要求されている.そこで我々は,レーザーの直進性とゴニオメータの高精度回転を利用した法線ベクトル追跡型超精密形状測定装置を開発した.本測定法では,試料表面における法線ベクトルとその座標を検出し,形状を復元することが出来る.本稿では,凸球面ミラーの形状導出アルゴリズムとその測定結果を報告する.

責任著者(Corresponding author)

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