速度検出にFV変換を用いた場合のサーボ性能の評価

抄録

静圧などを用いガイドを非接触な状態とし，位置検出器の分解能のような高精度な位置決めを行う場合，その速度検出にはFV変換器が用いられることが多い．しかし，位置検出器の分解能付近のような非常に低速な状況下では正確な速度情報を得ることができない．そのため正確な位置決めも困難となる．そこで本研究では，シミュレーションを用いFV変換器によるサーボ制御系の設計方法を論ずる．