ITOパターニングとスクリーン印刷による透明２自由度平面型静電モータの開発

細畠 拓也; 天野 皓太; 山本 晃生; 樋口 俊郎

doi:10.11522/pscjspe.2013S.0.475.0

2013年度精密工学会春季大会

セッションID: G38

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013S.0.475.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

ITOパターニングとスクリーン印刷による透明２自由度平面型静電モータの開発

*細畠拓也, 天野皓太, 山本晃生, 樋口俊郎

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キーワード: アクチュエータ, 静電モータ

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抄録

平面ディスプレイ上インタフェースへの応用を目指し，透明な二自由度静電モータ用のフィルム電極を開発した．フィルムには市松模様状に水平／垂直方向に並べられたITO導電膜による三相電極が形成されており，これらはスクリーン印刷で形成された導電性ポリマの配線により結線されている．同電極を固定子として用い，他のフィルム電極や誘電体シートを移動子として二自由度駆動することに成功した．

責任著者(Corresponding author)

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