透明体電極を用いた放電加工アークプラズマの観察

抄録

電気伝導性と可視域での光透過性を有するSiC単結晶を電極に用いることで，SiCを通して連続放電における極間の放電位置の分布や気泡挙動が観察可能となっている．分光透過率の測定結果より，SiC単結晶ウェハには波長依存性が認められ，減衰してしまう波長成分も存在するが，アークプラズマの放射は観察可能であることが明らかとなった．本研究では透明体電極を用い放電アークプラズマの観察を行い，放電現象を調査した．