3次元レーザスライシングに関する研究

抄録

材料内部にレーザ焦点を置くことで内部加工痕を形成することが可能である．これまでにその加工痕を面状に連鎖させることでスライシングを実現し，シリコンウエハの創成を行ってきた．本報では，レーザ加工の特性を利用して新しい３次元レーザスライシングの可能性について検討した結果について報告する．