シリコンパワーチップの構造と製造プロセス（キーノートスピーチ）

抄録

日本は電力供給体制の変換に迫られており、自然エネルギーを有効活用できる分散型発電およびスマートグリッドの普及が急務である。その際の頻繁な電力変換は全てパワーデバイスが行っている。パワーデバイス用シリコンチップは、シリコン集積回路とは構造が大きく異なり、使用するシリコンウエハおよびデバイス製造プロセスが異なる。パワーチップ特有の構造の必然性とそれを実現するための製造プロセスについて解説する。