グリーンデバイス用結晶基板の加工プロセス技術の研究開発　第1報

マルチ産学連携共同研究プロジェクト設立の概要

抄録

高性能・多機能デバイスを効率良く製造するためには，適用する難加工材料に見合った効率的な加工プロセスを設計する必要があり，一連のプロセスに関わる各分野が一体となった有機的組織を設立する必要がある．本研究では，難加工材料の最適加工工程を構築すべくマルチ産学連携コンソーシアムを設立し, グリーンデバイスとして脚光を浴びている先端的材料にフォーカスして，超精密スマート加工プロセス技術を提案する．