CMPにおける研磨装置の挙動解析に関する基礎検討

2013年度精密工学会春季大会

セッションID: J36

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主催: 公益社団法人精密工学会

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抄録

本研究ではCMPにおける研磨装置の挙動を評価し，その挙動や摩擦係数が研磨特性に与える影響について明らかにすることを目的とする．本報告では，CMP中に計測した研磨ヘッドの振動解析を行い，その結果と研磨レート，摩擦係数との相関関係について述べる．