先端的難加工基板の高効率精密加工法の研究（第2報）

疑似ラジカル場を想定した加工変質層の形成によるPCVM加工速度の増大

抄録

大気圧プラズマを用いたプラズマエッチング(Plasma Chemical Vaporization Machining; PCVM)は被加工物表面に加工変質層を残さないが、等方性エッチングのため表面凹凸の平坦化には向かない。そこで、ラップ加工等によって表面凸部に結晶欠陥を導入しながらPCVMを行うことで、欠陥部の選択的なエッチングにより平坦化されるのではないかと考えた。本報では、加工変質層を故意に導入した試料に対してPCVMを行い加工速度の増大を確認した結果について報告する。