研磨による無反りウエハの創成（第3報） 冷凍ピンチャックの冷却特性と研磨への適用

吉冨 健一郎; 竹鼻 亮道; 宇根 篤暢; 餅田 正秋

doi:10.11522/pscjspe.2013S.0.647.0

2013年度精密工学会春季大会

セッションID: J38

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013S.0.647.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

研磨による無反りウエハの創成（第3報）

冷凍ピンチャックの冷却特性と研磨への適用

*吉冨健一郎, 竹鼻亮道, 宇根篤暢, 餅田正秋

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キーワード: 研磨, 冷凍ピンチャック, 反り, 無変形チャック, 石英ガラス

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抄録

薄板試料は反りを有しており，その反りを矯正することなく保持固定することはきわめて難しい．本研究では冷凍ピンチャックを用いてこれを実現し，無反りウエハを創成する研磨技術を確立することを目的としている．冷凍ピンチャックは，冷凍液を5℃以下に冷却し，研磨中もこの低温を維持する必要がある．本報では，冷凍ピンチャックの冷却特性を明らかにするとともに，石英ガラスウエハの研磨実験結果について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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