ナノ複合砥粒の微細構造がガラス研磨特性に与える影響

抄録

我々は、噴霧熱分解法により合成したSrZrO₃/ZrO₂ナノ分散型複合砥粒のガラス研磨特性が比較的高いことを見出した。本研究では、ナノ複合砥粒の微細構造が研磨特性に与える影響を調査するため、セラミックス合成で一般的な固相法または液相法によりナノ複合砥粒を合成し、研磨特性を評価した。その結果、液相法により合成した砥粒は固相法に比べ高い研磨特性を示した。研磨特性は一次粒子径と分散の均一性に大きく依存することがわかった。