ガラス研磨用パッドの物性と研磨特性

抄録

新規に開発したガラス研磨用セリウムフリー代替砥粒に最適な研磨用パッドを選定するために様々なガラス研磨用ウレタンパッドの研磨特性を調査した。本報告では研磨特性に対するパッドの物性の影響を示す。その結果、パッドの粘弾性、パッドの表面状態と研磨特性の関係が分かった。