ガラス研磨における化学的作用の定量的評価

抄録

ガラスの研磨は、化学的プロセスと機械的プロセスの複合であり、従来これら２つのプロセスが各種砥粒でどのように分担をしているかを定量的に評価することは複合プロセスであるがゆえに困難であった。本発表では、これら２つのプロセスの定量的な分担を評価する方法を提案、各種既存砥粒に適用する。また、新規に開発したセリウムフリー研磨剤にも適用し、本評価法を検証する。