硬質薄膜の凝着特性に関する研究(第1報)

回転と圧力を伴う摩擦による評価法の提案と検証について

抄録

硬質薄膜は、高温・高圧下の使用環境で耐摩耗性、耐酸化特性を付与するために、機械部品に表面処理される。しかし、表面処理品は形状、使用方法により凝着を起こす場合がある。昨今、多種の薄膜が用いられるようになり、硬さ、摩擦係数、剥離臨界荷重の物性値では、膜と被処理物との凝着特性を予測することができない。本報告は、摩擦圧接法を応用した評価法により薄膜の凝着特性について報告する。