原子接点数と格子不整合率による薄膜の結晶成長予測

抄録

著者らはTiNi形状記憶合金をマイクロポンプ用のアクチュエータ材料として使用するために，TiNi薄膜の発生力を向上させることを目的として薄膜の結晶成長予測を行っている．本研究では結晶成長に影響を与える因子とされる原子接点数と格子不整合率に着目し，成膜実験と計算の比較を行うことで成膜結果と計算結果の整合性の検討を行った．その結果，薄膜の結晶成長は原子接点数の算出によって予測可能になることが示唆された．